2.2 EBSD技术及其原理概述

电子背散射衍射(electron backscatter diffraction, EBSD)技术是基于扫描电镜(SEM)中入射电子束在倾斜试样表面激发并形成的衍射菊池带以确定晶体结构、取向及相关信息的方法。电子背散射衍射的形成是由于入射电子束会在进入样品后产生非弹性散射,在入射点附近发散并在出射时与晶体晶格发生布拉格衍射。